プロセス開発とは原因調査と解決まで プロセス開発とは 原因調査と解決まで
私の所属しているプロセス開発部門は、簡単に言うとお客様が設計してきたものを、製品として形にするまでの工程を検討し、実行することが主な業務です。プロセス開発は大きく２つの役割があり、1つは半導体製造工程を構成する最小基本単位の要素技術開発（例えば成膜・リソグラフィ・エッチング・CMP・洗浄等）、もう1つは、これらの要素技術を組み合わせて集積回路をウェハー上に形成するためのインテグレーション技術開発です。私は、要素技術開発である薄膜形成技術のプロセス開発を担当しています。各工程の担当やインテグレーションの担当と処理方法の検討や、不具合の調査依頼がきた時には、原因調査を行い解決する仕事をしています。
具体的には私の担当するプロジェクトで、欠陥が増加する問題が発生し、インテグレーションの担当者より原因調査の依頼がありました。自分の担当工程は様々な処理か複雑に絡み合っている為、どのタイミング、どの処理の中で原因が発生しているのかを突きとめることが本当に難しいです。どの切り口からアプローチすればよいのかは、自分の知識だけでは足りないことも多く上司や先輩に相談し、アドバイスを頂きながら実験を行います。そのデータの考察と上司や先輩への相談を繰り返し行うことで原因を突きとめ、改善案を検討します。その後、改善案を適用するために、品質管理を含む関係部署の担当者と再度議論し、効果と他工程へのリスク影響を検討して問題解決に努めます。
仕事を任せてもらえる環境があり、やりがいを感じていますが、一人で解決できることは少なく、上司や先輩への相談、アドバイスを貰いながら改善案を導き出しています。話合いながら業務を進めることが必要だからこそ、自然とコミュニケーションが多くなり、あたたかい社風なのだと感じています。
