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装置の安定稼働で半導体製造を支える

装置の安定稼働で半導体製造を支える

私の主な業務は、ウェハーを研磨するCMPという工程にて、そこで起こる装置トラブルや予防保全などを行っています。トラブルが起こると製造部門から連絡が入るので、その原因を調べ、必要に応じて部品の交換や修理を行った後、元通り正常に作動するか確認ができたら製造部門へ引き渡す、という流れで仕事を行っています。定期点検で内部を詳しく調べて初めて見つかる異常もあるので、生産に支障をきたさないように装置を安定的に稼働させていくことの大変さを感じています。
また、経験を積んできたことでの“慣れ”から起こるミスをしないようにも注意しています。過去、“慣れ”から正しい方法で動作確認を行わずにミスをしてしまったことがありましたが、先輩のフォローのおかげでリカバリーすることができました。それ以来、改めてKYT（危険予知訓練）に基づいた行動を意識し、業務を遂行することを心掛けています。